A、每個區上下同時加熱,溫度更均勻。
B、采用先進的甲酸回流工藝,有效去除氧化物和污染物。
C、每個區都有獨立真空控制,可編程控制每個區的甲酸供應量和氧含量。 更利于控制回流的效果。
D、工藝編程簡單,可方便各種制程的導入。
E、兼容性強,整機可以兼容8、12寸標準晶圓及翹曲晶圓。
F、產品配置4組獨立的加熱腔體,可實現晶圓均勻的升降溫要求。
G、產能高,每小時產能可達40-120片。
H、維護保養方便簡單,保養間隔時間大于3周。
I、可編程參數:溫度,升溫斜率、降溫斜率、運動速度、甲酸濃度、真空 抽速,真空吸附。





常見問題
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您好,我們是大型生產廠家,上市企業。用戶遍布全球,三星、海爾、日立等都是我們的長期合作伙伴,可放心采購。
您好,我們的報價由兩部分組成,發貨當天收盤均價+加工費,由于鋁錠價每日都有波動,所以報價會有浮動。
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