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晶圓甲酸回流爐?BR0300

晶圓甲酸回流爐?BR0300

A、每個區上下同時加熱,溫度更均勻。 B、采用先進的甲酸回流工藝,有效去除氧化物和污染物。 C、每個區都有獨立真空控制,可編程控制每個區的甲酸供應量和氧含量。 更利于控制回流的效果。 D、工藝編程簡單,可方便各種制程的導入。 E、兼容性強,整機可以兼容8、12寸標準晶圓及翹曲晶圓。 F、產品配置4組獨立的加熱腔體,可實現晶圓均勻的升降溫要求。

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A、每個區上下同時加熱,溫度更均勻。

B、采用先進的甲酸回流工藝,有效去除氧化物和污染物。

C、每個區都有獨立真空控制,可編程控制每個區的甲酸供應量和氧含量。 更利于控制回流的效果。

D、工藝編程簡單,可方便各種制程的導入。

E、兼容性強,整機可以兼容8、12寸標準晶圓及翹曲晶圓。

F、產品配置4組獨立的加熱腔體,可實現晶圓均勻的升降溫要求。

G、產能高,每小時產能可達40-120片。

H、維護保養方便簡單,保養間隔時間大于3周。

I、可編程參數:溫度,升溫斜率、降溫斜率、運動速度、甲酸濃度、真空 抽速,真空吸附。

常見問題

你們的產品多少噸起訂?需求量少怎么辦?
您好,每種規格8噸起訂;需求量少,可撥打客服熱線:010-888888,讓客服協助您進行現貨查詢。
你們是工廠還是經銷商?
您好,我們是大型生產廠家,上市企業。用戶遍布全球,三星、海爾、日立等都是我們的長期合作伙伴,可放心采購。
你們的報價是固定的么?
您好,我們的報價由兩部分組成,發貨當天收盤均價+加工費,由于鋁錠價每日都有波動,所以報價會有浮動。
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